EXPLAINER-The $250 million ASML 'printer' behind Nvidia's chips

作者：托比·斯特林和内森·维夫林

阿姆斯特丹，1 月 28 日（路透社）- ASML（ASML.AS）凭借其在光刻系统制造方面的主导地位，已成为欧洲最有价值的公司。这些巨型 “芯片打印” 机器每台售价达 2.5 亿美元，是推动人工智能热潮的公司不可或缺的设备。以下是对这家荷兰公司崛起背后技术的深入分析。

ASML 打印机需求的驱动因素是什么

ASML 在极紫外（EUV）机器的制造上拥有垄断地位，这些机器用于制造最先进的半导体，尽管中国和美国的竞争对手正在努力开发替代品。人工智能的快速发展和全球数据中心的建设推动了对这些芯片的需求，使得为英伟达（NVDA.O）的制造商台积电（2330.TW）及其他人工智能芯片制造商提供服务成为 ASML 的首要业务。

技术：在纳米尺度上工作的巨大机器

这些机器的大小相当于一辆校车，重达 150 吨，利用复杂的激光、镜子和磁铁系统将微观电路写入芯片生产所需的硅晶圆上。

它们通过将光的图案照射到每个包含大约一百个人工智能芯片的硅晶圆上，以无与伦比的精度绘制电路层。

EUV 波长为 13 纳米。相比之下，人类头发的厚度在 80,000 到 100,000 纳米之间。

根据比利时大学微电子中心首席执行官卢克·范登霍夫的说法，这些机器提供了 “图案精度、可扩展性和能效”，而这些正是先进芯片制造，尤其是人工智能芯片所依赖的。该中心与 ASML 合作开发了这项技术。

激光和镜子

为了产生 EUV 光，锡滴以每秒 50,000 次的速度被一些最强大的激光击打，这些激光由德国工业公司 Trumpf 制造。由德国光学系统制造商蔡司生产的镜子系统，其表面比用于太空望远镜的镜子更光滑，并保持在真空中，将光引导到机器的核心。

支撑晶圆的台面在磁铁上悬浮，并以每秒 70 到 80 米的速度加速和减速。

ASML 的系统是如何交付的？

EUV 机器在荷兰组装，然后装入约 40 个集装箱，乘坐 747 货机运送到台积电（2330.TW）在台湾的工厂，该工厂为英伟达、三星（005930.KS）、SK 海力士（000660.KS）、美国的英特尔（INTC.O）和美光（MU.O）以及日本的 Rapidus 制造芯片。去年，ASML 交付了 44 台此类系统，分析师预测在 2026 年和 2027 年将需要大幅增加交付量。